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显微MEMS微纳米技术
焊接芯片显微振动测试
应用背景及目的:
测量样品悬空区域刻蚀槽是否与电极正确连接
通过激光进行激励,使用显微测振仪测试样品点位振动响应
通过时域峰峰值进行样品焊接状态判定