MEMS音频芯片显微振动测试 - 浙江舜创智能光学科技有限公司

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应用背景及目的：

测量数字音频芯片在不同工作频率下的芯片振动幅值

芯片体积小，通过相机成像进行光斑定位

测试振动位移幅值4.14μm