产品介绍
显微激光测振仪是一款全新的集多功能于一身的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化显微测量分析的理想工具。它可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、加速度、位移等信息），激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时精确定位被测点位置。
特点
1.非接触测量，无负载；
2.激光光斑极小，微米级；
3.优越的带宽和动态范围；
4.高空间分辨率；
5.工作距离可选；
6.高灵活性、易安装、易操作；
7.振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高；
8.配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置；
应用领域
微机电系统（MEMS）动态测试
生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
技术参数
显微激光测振仪LV-S01-M光学头参数 | |
尺寸（L*W*H） | 454.8×270×643mm |
重量 | 5kg |
聚焦方式 | 手动聚焦 |
激光波长 | He-Ne laser 632.8nm |
激光功率 | ＜1mW |
工作距离 | 1mm-30mm(取决于配套物镜倍数及景深） |
显微激光测振仪LV-S01-M控制箱参数 | |
尺寸（L*W*H） | 450×421×149mm |
重量 | 8kg |
最大测量速度 | ±12m/s |
最大测量位移 | ±2m |
输出电压范围 | ±10V |
频率范围 | DC～3MHz 30kHz～25MHz |
滤波设置 | 高通、低通滤波，跟踪滤波 |
最大线性误差 | ＜±1% |
速度分辨率 | 优于0.001μm/s/√Hz |
位移分辨率 | 优于0.31pm |
模拟输出 | BNC接口输出 |
数字输出 | RJ45千兆以太网口 |
低通滤波器 | 500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器) |
跟踪滤波器（选配） | Slow，Medium， Fast，Off |
信号电平显示 | 反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V） |
显示 | 带交互式菜单引导设置的彩色屏 |
工作温度 | +3 °C … +45 °C |
存储温度 | -10 °C … +65 °C |
相对湿度 | <90% |
供电电源 | 100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
防护等级 | IP54 |
*产品性能及参数可定制化，接受集成及非标定制
*产品彩页仅做参考，不做任何评判标准
常用解码器 | |||||
速度解码卡 | 描述 | 带宽 | 量程档位 | 最大测量速度 | 最佳速度分辨率 |
VS-03 | 中频速度解码器 | 0-50kHz | 3 | ±500mm/s | 0.1μm/s/√Hz |
VD21 | 宽带数字速度解码器 | 0-3MHz | 21 | ±12m/s | 0.001μm/s/√Hz |
位移解码卡 | 描述 | 带宽 | 量程档位 | 最大测量速位移 | 最佳位移分辨率 |
DD32 | 宽带数字位移解码器 | 0-3MHz | 32 | ±2m | 0.31pm |
DD-25M | 超宽带数字位移解码器 | 30kHz-25MHz | 16 | ±500μm | 0.31pm |
