所属分类:扫描式
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发布日期:2024-05-21 13:32
产品介绍
显微扫描激光测振仪LV-SC400-M是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。
特点
1.非接触测量，无负载；
2.激光光斑极小，微米级；
3.优越的带宽和动态范围；
4.高空间分辨率；
5.工作距离可选；
6.高灵活性、易安装、易操作；
7.振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高；
应用领域
微机电系统（MEMS）动态测试
生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
技术参数
显微激光测振仪LV-SC400-M光学头参数 | |
尺寸（L*W*H） | 470×225×126mm |
重量 | 12.5kg |
聚焦方式 | 固定聚焦 |
激光波长 | He-Ne laser 632.8nm |
激光功率 | ＜2mW |
工作距离 | 7.9mm-19.5mm（配备不同倍率物镜；取决使用何种物镜） |
扫描角度（V x H） | 4° x 4° |
扫描参数 | 角分辨率＜0.001°，角度稳定性＜0.001°/h，最大30点/s |
显微激光测振仪LV-P01-M控制箱参数 | |
尺寸（L*W*H） | 450×421×149mm |
重量 | 11kg |
最大测量速度 | ±12m/s |
输出电压范围 | ±10V |
频率范围 | DC～3MHz 30kHz～25MHz |
滤波设置 | 高通、低通滤波，跟踪滤波 |
最大线性误差 | ＜±1% |
速度分辨率 | 优于0.001μm/s/√Hz |
位移分辨率 | 优于0.31pm |
模拟输出 | BNC接口输出 |
数字输出 | RJ45千兆以太网口 |
低通滤波器 | 500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器) |
跟踪滤波器（选配） | Slow，Medium， Fast，Off |
信号电平显示 | 反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V） |
显示 | 带交互式菜单引导设置的彩色屏 |
工作温度 | +3 °C … +45 °C |
存储温度 | -10 °C … +65 °C |
相对湿度 | <90% |
供电电源 | 100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
防护等级 | IP54 |
*产品性能及参数可定制化，接受集成及非标定制
*产品彩页仅做参考，不做任何评判标准
常用物镜 | |||||
物镜型号 | 倍率 | 数值孔径（NA） | 测量距离（WD） | 焦点直径 | 视场（长*宽） |
MPlanFL5X BD | 5X | 0.15 | 13.5mm | 4.8μm | 1.50*1.10mm |
MPlanFL10X BD | 10X | 0.3 | 9mm | 2.9μm | 0.74*0.55mm |
MPlanFL20X BD | 20X | 0.45 | 3.4mm | 1.5μm | 0.37*0.28mm |
LMPlan50X | 50X | 0.55 | 7.8mm | 1.1μm | 0.15*0.10mm |
*可根据客户需求配置长工作距物镜
常用解码器 | |||||
速度解码卡 | 描述 | 带宽 | 量程档位 | 最大测量速度 | 最佳速度分辨率 |
VS-03 | 中频速度解码器 | 0-50kHz | 3 | ±500mm/s | 0.1μm/s/√Hz |
VD21 | 宽带数字速度解码器 | 0-3MHz | 21 | ±12m/s | 0.001μm/s/√Hz |
位移解码卡 | 描述 | 带宽 | 量程档位 | 最大测量速位移 | 最佳位移分辨率 |
DD32 | 宽带数字位移解码器 | 0-3MHz | 32 | ±2m | 0.31pm |
DD-25M | 超宽带数字位移解码器 | 30kHz-25MHz | 16 | ±500μm | 0.31pm |
